2월 22일 저녁 7시 서울역 대회의실에서 한양대학교 신소재공학부 박막전자재료연구실 최덕균 교수의 일반인을 대상으로한 강연이 있었으며 그 내용을 정리해 중계한다.
평판 디스플레이는 90년대 초에 등장하여 노트북PC라는 새로운 물결을 몰고 왔디. 한국은 2005년부터 LCD, PDP의 세계 시장을 제패하여 디스플레이 최강국의 입지를 굳혀 왔지만 최근 동남아 주변국의 도전을 받고 있는 실정이다.
평판 디스플레이 시장은 LCD와 PDP가 양분하고 있으나 점차 LCD로 넘어가는 추세이다. 하지만 PDP 진영은 우수한 화질과 빠른 응답성을 바탕으로 LCD에 대한 공세를 펼치고 있다. 이는 LCD는 화면의 빠른 전환시 발생하는 잔상 현상을 줄여주는 기술의 개발이 LCD가 주류 평판디스플레이로 확고히 자리 잡기 위한 필수 기술임을 말해 주는 것이다.
이를 위해서는 여러 방면에서 연구가 이루어지고 있는데, 가장 핵심적 기술은 화소를 구동하는 트랜지스터를 저온폴리실리콘(LTPS)위에 형성하는 것이다.
저온폴리실리콘 방식은 고온 결정화 공정 대신 LCD의 기판 물질인 유리가 견딜 수 있는 저온에서 결정화하는 공정으로, 빠른 응답속도에 의한 잔상 제거 뿐만이 아니라 주변회로의 고집적 가능, 원가 절감, 패널 부품의 단순화가 가능하다는 장점도 있다.
그러나 이러한 저온 결정화 기술 분야의 특허 대부분을 도시바 등 일본 기업체가 소유하고 있는 실정이기 때문에 외국 기술에 종속되지 않는 차별화된 신기술의 개발이 디스플레이 강국으로써의 한국이 가야 할 길이다.
한양대학교 최덕균 교수팀은 저온폴리실리콘 형성시 나노 두께의 금속층이 선택적으로 증착된 비정실 실리콘 박막의 표면 양단에 전계를 인가하면서 열처리를 수행하는 독창적인 저온결정화 기술인 전계 유도 방향성 결정화 기술을 제안하였고 특허도 획득하였다.
이 기술은 기존의 기술에 비해 결정화 속도증가에 따른 열처리 시간의 감소 , 결정화 양상의 나노 제어가 가능하다.
비정질 실리콘의 저온 결정화 기술은 LCD 산업 뿐만 아니라 여러 분야에서 핵심 소자의 특성향상 및 경쟁력 확보를 위한 필수적인 기술이므로 태양전지 산업, 센서분야, 단전자 메모리 소자 등 그 응용범위가 무궁무진한 기반성을 갖고 있는 기술이다.
최덕균 교수팀은 이외에도 투명 전자소자를 응용한 display, 실리콘 박막 태양전지, 신개념 차세대 고집적 메모리 등에 관한 연구를 수행하고 있다.
